ICP-OES，即电感耦合等离子体体（ICP）光谱；而ICP-MS，则是以ICP方式离子化的质谱。有时，人们也会叫“ICP质谱”。那么他们和AAS有何区别？在选择分析方法时又该如何抉择呢？

对于拥有ICP-OES技术背景的人来讲，ICP-MS是一个以质谱仪作为检测器的等离子体（ICP），而质谱学家则认为ICP-MS是一个以ICP为源的质谱仪。事实上，ICP-OES和ICP-MS的进样部分及等离子体极其相似。ICP-OES测量的是光学光谱（165～800nm），ICP-MS测量的是离子质谱，提供在3～250amu范围内每一个原子质量单位（amu）的信息，因此，ICP-MS除了元素含量测定外，还可测量同位素。

和ICP-OES、ICP-MS比较，AAS是原子吸收光谱，因为只利用原子光谱中单色光照射，所以只能检测一种元素的含量，不过检测限比较低而且重现性比较好。ICP-OES是原子发射光谱，检测原子光谱中的多条谱线，检测限也比较低，而且多通道可以同时检测多种原子和离子，比较方便，重现性也不错。ICP-MS是ICP质谱联用，利用质谱检测同位素含量来检测元素的含量，检出限最低，效果最理想。

适用范围：AAS用于已知元素含量的检测；ICP可以用于已知，也可以用于未知，适合多元素分析；ICP-MS由于比较贵而且检出限最低，一般是用作标准测量的时候。